Fabrication of alignment structures for a fiber resonator by use of deep-ultraviolet lithography


Liu, Xiyuan ; Brenner, Karl-Heinz ; Wilzbach, Marco ; Schwarz, Michael ; Fernholz, Thomas ; Schmiedmayer, Jörg


Dokumenttyp: Zeitschriftenartikel
Erscheinungsjahr: 2005
Titel einer Zeitschrift oder einer Reihe: Applied Optics
Band: 44
Heft: 32
Seitenbereich: 6857-6860
Ort der Veröffentlichung: Washington, DC
Verlag: OSA
ISSN: 0003-6935
Sprache der Veröffentlichung: Englisch
Einrichtung: Fakultät für Wirtschaftsinformatik und Wirtschaftsmathematik > Optoelektronik (Brenner)
Fachgebiet: 004 Informatik
Abstract: We present a novel method to mount and align an optical-fiber based resonator on the flat surface of an atom chip with ultrahigh precision. The structures for mounting a pair of fibers, which constitute the fiber resonator, are produced by a spin-coated SU-8 photoresist technique by use of deep-UV lithography. The design and production of the SU-8 structures are discussed. From the measured finesses we calculate the coupling loss of the SU-8 structures are acting as a kind of fiber splice to be smaller than 0.013 dB.
Zusätzliche Informationen: Datenuebernahme

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Liu, Xiyuan und Brenner, Karl-Heinz und Wilzbach, Marco und Schwarz, Michael und Fernholz, Thomas und Schmiedmayer, Jörg (2005) Fabrication of alignment structures for a fiber resonator by use of deep-ultraviolet lithography. Applied Optics 44 32 6857-6860 [Zeitschriftenartikel]



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