Integrated Guiding Structures for automatic Alignment of micro optical Components


Krackhardt, Ulrich ; Brenner, Karl-Heinz


Dokumenttyp: Konferenzveröffentlichung
Erscheinungsjahr: 2001
Buchtitel: Gradient index, miniature, and diffractive optical systems II : 2 - 3 August 2001, San Diego, USA
Titel einer Zeitschrift oder einer Reihe: Proceedings of SPIE
Band: 4437
Seitenbereich: 91-98
Autor/Hrsg. des Buches
(nur der Erstgenannte!)
:
Suleski, Thomas J.
Ort der Veröffentlichung: Bellingham, Wash.
Verlag: SPIE
ISBN: 0-8194-4151-1
Sprache der Veröffentlichung: Englisch
Einrichtung: Fakultät für Wirtschaftsinformatik und Wirtschaftsmathematik > Optoelektronik (Brenner)
Fachgebiet: 004 Informatik
Freie Schlagwörter (Englisch): alignment , fabrication , guiding , integration , Micro-optics
Abstract: A novel technique for the realization of guiding structures for passive/automatic alignment is proposed. The technique is based on a recently available special photoresist. This photoresist can be processed by standard lithographic processes and shows a mechanical stability close to glass. Guiding structures may thus be realized in the same process as the functional structures on a substrate. We discuss the material behavior in terms of processing, change of shpe due to shrinking or swelling and shear stability. First results of accuracy experiments ar shown. as an example we demonstrate fiber ferrules for horizontal and for vertical mounting. We also show alignment structures for fiber/fiber coupling.

Dieser Eintrag ist Teil der Universitätsbibliographie.




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Krackhardt, Ulrich und Brenner, Karl-Heinz (2001) Integrated Guiding Structures for automatic Alignment of micro optical Components. In: Gradient index, miniature, and diffractive optical systems II : 2 - 3 August 2001, San Diego, USA 2001 Bellingham, Wash. [Konferenzveröffentlichung]



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