UV-Tiefenlithographie mit Zweiphasenbelichtung zur Herstellung von replizierbaren optischen Verbindungsstrukturen


Wohlfeld, Denis ; Brenner, Karl-Heinz


URL: http://www-alt.gsi.de/documents/DOC-2007-Jul-7-1.p...
Weitere URL: http://www-alt.gsi.de/documents/DOC-2007-Jul-6-2.p...
Dokumenttyp: Konferenzveröffentlichung
Erscheinungsjahr: 2006
Titel einer Zeitschrift oder einer Reihe: Tagungsband : 9. Workshop Optik in der Rechentechnik, 27.10.2006 / University of Mannheim, Mannheim, Germany
Autor/Hrsg. des Buches
(nur der Erstgenannte!)
:
Griese, E.
Ort der Veröffentlichung: Mannheim
Verlag: Univ.
ISSN: 1437-8507
Sprache der Veröffentlichung: Deutsch
Einrichtung: Fakultät für Wirtschaftsinformatik und Wirtschaftsmathematik > Optoelektronik (Brenner)
Fachgebiet: 004 Informatik
Normierte Schlagwörter (SWD): optische Verbindungsstrukturen

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Wohlfeld, Denis ; Brenner, Karl-Heinz (2006) UV-Tiefenlithographie mit Zweiphasenbelichtung zur Herstellung von replizierbaren optischen Verbindungsstrukturen. 2006 Mannheim [Konferenzveröffentlichung]



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