Fabrication of integrated structures for coupling VCSEL to fibre


Wohlfeld, Denis ; Brenner, Karl-Heinz


URL: http://www.dgao-proceedings.de/download/106/106_b3...
Dokumenttyp: Konferenzveröffentlichung
Erscheinungsjahr: 2005
Titel einer Zeitschrift oder einer Reihe: DGaO-Proceedings : Wissenschaftliche Online-Zeitschrift der Deutschen Gesellschaft für angewandte Optik
ISSN: 1614-8436
Sprache der Veröffentlichung: Englisch
Einrichtung: Fakultät für Wirtschaftsinformatik und Wirtschaftsmathematik > Optoelektronik (Brenner)
Fachgebiet: 004 Informatik
Abstract: Thick photoresist is used for realisation of high quality opto-mechanical structures. In order to achieve a higher level of integration, optical functions like deflection should be included. By inclined exposure of the resist, we fabricated bevelled structures. One application is a combined fibre mount and coupling structure.
Zusätzliche Informationen: Online Ressource

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Wohlfeld, Denis ; Brenner, Karl-Heinz (2005) Fabrication of integrated structures for coupling VCSEL to fibre. 2005 [Konferenzveröffentlichung]



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